制备样品是EBSD实验开展的前提

EBSD的样品制备至关重要，因为探测器检测到的电子衍射信号通常是从样品几十纳米的表层产生的。如果材料表面有形变、污染或氧化，那么EBSD花样的形成可能会受到影响。

对许多材料而言，都必须按照标准的制样程序。一般情况下，可以毫无偏差的完全按照抛光的标准方法到最后抛光阶段。随后，采用硅溶胶进一步抛光可得到最终符合EBSD要求的样品。

然而，不同材料对普通制备方法会有不同的反应，制备复合材料难度会更大。因此，对所研究的材料应考虑其特性并采用合适的制备方法。对于一种给定的材料，需要咨询设备生产商材料的适用性。

(a) 夹持镶样样品的样品台

(b) 夹持未镶样样品的样品台

图片由 Struers 公司提供。