由于衍射花样在荧光屏上的强度低,所以为了获得好的衍射花样,信号需要经CCD相机处理以改善图像的信噪比。
如果CCD相机信号积分时间太短,获得的图像可能会欠佳;在这种情况下,延长CCD相机信号的积分时间会改善衍射花样的质量(图1)。如果积分时间较长,CCD相机就可能需要冷却以降低噪声。 原子序数增加背散射电子的产量也会增加,所以比起原子序数大的材料,原子序数小的材料需要一个比较长的信号采集时间。
图 1 奥氏体钢中积分时间和电子束电流对衍射花样的影响
CCD相机的分辨率也可以影响获得衍射花样所需的积分时间。目前的CCD相机可以在分辨率为1344×1024像素下采集12位图像。使用“像素拼合”,CCD相机获得的邻近像素可以叠加在一起,从而形成图像中的单个像素。以这种方式拼合像素,获取图像所需的处理时间会减少。例如,如果在1344 x1024分辨率下能在12毫秒得到满意的衍射花样,则在672×512分辨率下得到类似的衍射花样只需要3毫秒。
此外,由于系统在有噪声干扰的情况下也能够正常工作(图2),所以在面扫描时确定所需的最佳采集时间是非常必要的。