EBSD系统的校准

一套EBSD系统必须经过校准才能正确的工作。这其中涉及到测量样品到荧光屏的距离（Detector Distance，DD）和荧光屏上的花样中心（Pattern Centre，PC，是指荧光屏上距离样品上衍射花样产生点最近的点，即垂足）。

EBSD系统的校准有多种方法。我们倾向于以下方法：对于一系列不同的工作距离，改变探头的伸入位置和升降高度（如下图），记录样品上同一个点的衍射花样。通过图像相关性分析，可以计算出不同几何条件下的花样中心；通过不同探头伸入位置的花样缩放系数，可以计算样品到荧光屏的距离。

在现代化的EBSD系统中，这些校准过程是程序自动完成的。采集不同几何条件下的花样，并生成一个校准矩阵，这样，在日常EBSD实验中，系统会自动调用这些校准参数并保证数据的准确。

EBSD系统的典型校准程序。花样中心可以通过关联不同探头伸入位置的花样特征来得到。