EBSD系统的基本组成

EBSD系统通常包括：

• 一个扫描电子显微镜（SEM）
• 一个与水平呈70度倾转的晶态样品，可以采用预倾台或者样品台倾转。
• 一个荧光屏，将样品散射的电子激发成荧光。
• 一个CCD或者CMOS传感器（与相机系统或光纤板光学系统耦合），用来观测荧光屏上形成的衍射花样。
• 一个可伸缩的机械结构，可以精确控制探头的位置。使用时伸入以采集衍射花样，不使用时缩回以防止干扰SEM操作。
• 此外，EBSD探头还可能有升降控制，以满足在更大的工作距离范围内实验的需求，使探测器达到优化的几何位置。
• 一套用于反控电镜的电路组件，包括镜筒参数和样品台的移动。
• 一台计算机及配套软件，用来控制EBSD实验，采集标定衍射花样并显示结果。
• 软件控制探头伸缩和升降，以保持校准，使系统易于使用。
• 环绕荧光屏周围安装的前置散射探测器（Forescatter Diodes，FSD），可以成原子序数衬度像或取向衬度像，帮助后续设置EBSD实验采集数据。
• EBSD系统可以跟EDS系统实现一体化，同时采集结构取向和元素成分信息。
  

动画演示EBSD和EDS一体化系统安装在SEM样品仓上，有些EBSD探测器可以控制升降，这样更容易控制样品相对探测器的几何位置。

EBSD软件控制整个采集过程，从电子束控制到花样标定，并能够详细查看EBSD数据。