样品切割

切割EBSD样品时，尤其是需要分析织构时，务必要标记好原始样品、材料中相关轴的方向。一般是平行于这些轴的方向（如轧向、横向和法向）切割样品，这在后续EBSD标定中会用到。当然，切割过程也不得损坏样品或使样品改变，否则也得不到正确的结果。

切割样品时一定要避免在切割表面产生形变和过热等损伤，这些损伤会延伸到材料内部，严重到后续的研磨和抛光都无法将其去除。

切割过程产生的热量还可能导致材料发生相变、晶粒长大、相析出或者元素扩散。因此必须不惜一切代价避免热损伤。

湿式砂轮切割机在冶金工业中很常见，适合切割较大的材料。如果使用不当，样品会承受相当大的力并产生大量的热。良好的切割可以使样品的损伤最小，使用不适当的砂轮片和过大的力会使样品局部过热。所以请遵循切割设备和砂轮片制造商发布的工艺表格和图表，以帮助选择更适合的砂轮片进行切割。这一点请务必重视和遵守。如果样品发生过热，通常是由于使用的砂轮片对于被切割的材料来说太"硬"了。砂轮片不能起到有效的磨削作用，导致磨料变钝。另一种可能性是磨料堵塞。这时候切割磨削导致的样品过热造成表面结构改变，很难在随后的研磨和抛光工艺中有效去除。EBSD对这种方式造成的损害非常敏感，并且在后续标定和分析时很难避免衍射花样的误标或标定率下降。因此，切割样品时选择合适的砂轮片进行切割，避免引入不必要的损伤。

精密、低形变切割设备

市场上有许多湿式砂轮切割机，专门为精密、低损伤切割而设计。这种机器通常采用立方氮化硼（CBN）和金刚石砂轮片，当然也可能配套提供其他种类磨耗型砂轮片，具体取决于设备厂商和型号。通常，低形变切割机特别适合切割EBSD样品的表面。

切割机

专为低损伤和精密切割而设计的精密切割机。

专为低损伤和精密切割而设计的精密切割机

切割表面

切割过程中对样品表面造成的热损伤

无热损伤的切割表面

感谢 Struers提供照片.