电子背散射衍射（EBSD）样品制备简介

EBSD花样采集过程中，衍射电子信号来自于样品表面以下几十纳米的范围，因此样品制备对于EBSD数据采集至关重要。

如果样品表面这个尺度内发生了形变、污染或氧化，那么背散射电子的衍射效应就会被削弱，采集不到有效的衍射花样信息，后续EBSD分析也就无从谈起。

对某些材料而言，使用标准的金相抛光制样方法，小心抛光，就可以成功得到衍射花样。一般来说，遵循标准制样方法，完成机械切割、金相打磨、金相抛光这些步骤，最后加上额外的二氧化硅凝胶抛光就可以满足EBSD分析要求。

然而很多情况下，不同材料对常见制备方法的适用性并不相同。

安装样品的样品架