CMOS 系列探测器

Schematic showing the nose section of an Oxford Instruments CMOS EBSD detector

EBSD探测器可能是任何EBSD系统中最关键的部件。2017年推出的Symmetry是首款使用互补金属氧化物半导体(CMOS)传感器的商用EBSD探测器,它兼顾了高采集速度与高花样分辨率。随后,牛津仪器于2018年又推出了2款CMOS探测器(C-Nano和C-Swift),以适用于不同的应用场景。所有这3款探测器,都具有市场领先的优异高灵敏,采用了独家设计的光纤板光学系统和定制的CMOS传感器。更多关于光纤板和灵敏度的信息详见这里

最新版本的Symmetry S3探测器进一步将最大在线分析速度提高到每秒4500个点(pps),材料的常规EBSD分析可缩短至几秒。以下是每种探测器的性能参数,更多信息可参考牛津仪器纳米分析的产品网页。

Symmetry S3是市场上领先的集多功能一体EBSD探测器。采用先进的CMOS技术,优异的性能表现使其能应用于各种材料相关的EBSD研究中,简洁直观的操作界面兼顾了易用性及各种创新的EBSD应用功能。其主要特点有:

  • 最快在线解析速度超过4500 点/秒
  • 1244x1044像素花样分辨率,是高分辨EBSD(HR-EBSD)的理想选择
  • 定制光纤板,光学畸变控制在亚像素级别
  • 优异的灵敏度,适合分析各种样品
  • 软件控制探头倾转,以最佳的几何位置采集花样并标定结果

更多详情,参见Symmetry S3产品页

fibre-optic coupled Symmetry S3 EBSD Detector

本视频中展现了Symmetry S3探测器的多功能和优异性能。

C-Nano采用和Symmetry S3相似的CMOS技术,提供了高水平的性能。它可以表征所有类型样品,尤其是它高花样分辨率的特点,意味着在进行应变分析,以及对花样弱、对称性差的样品进行表征时,具有极大优势。其主要特点有:

  • 1244x1044像素花样分辨率,是高分辨EBSD(HR-EBSD)的理想选择
  • 最快在线解析速度超过400点/秒
  • 光纤板光学系统,信号损耗少,灵敏度高,有利于低电压、低束流的EBSD分析
  • 花样几乎无畸变(出厂实测<1像素)
  • 非接触式碰撞预警系统,避免探头被样品等撞击/擦伤

更多详情见C-Nano+ 产品页

fibre-optic coupled C-Nano+ EBSD detector

C-Swift是CMOS EBSD系列最新成员,其设计专门用于常规材料分析和高通量样品表征。它同样采用了与Symmetry S3相似的,专为 EBSD定制的CMOS技术,它的特点有:

  • 最快在线解析速度超过1000点/秒
  • 在622x512花样分辨率时,在线解析速度可达250点/秒
  • 光纤板光学系统,信号损耗少,灵敏度高,有利于低电压、低束流的EBSD分析
  • 花样几乎无畸变(出厂实测<1像素)
  • 非接触式碰撞预警系统,避免探头被样品等撞击/擦伤

更多详情见 C-Swift+ 产品页

fibre-optic coupled C-Swift+ EBSD Detector
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